Grundgas Versorgung
Tanks und Onsite-Anlagen für die Semiconductor Industrie
AIR LIQUIDE bietet Ihnen Bulkgas-Versorgungen für alle Verbrauchsmengen - von einer Bündelversorgung bis zur Onsite-Versorgung - jeweils mit dem entsprechenden Service.
| Versorgungssystem | Typ | Flowbereich |
| Entspannungsstation | CISAL | 1-10 m3/h |
| Tank | Celine C3 - C60 | 10-500 m3/h |
| Luftzerleger | APSA T3 - T6 | 300 - 1000 m3/h |
| Luftzerleger | APSA LE 3 - LE8 | 3000 - 8000 m3/h |
| Helium-Versorgung | APSAL | 30-60 m3/h |
Kaltvergaser der Baureihe Celine liefern wir Ihnen in allen notwendigen Größen ...weiter
Onsite Erzeugung von Stickstoff bis 1000m³/h ...weiter
Onsite Erzeugung von Stickstoff ab 3000m3/h ...weiter
Bis zu 10 m3/h ist die interessanteste Versorgungsart die mit Bündeln. ...weiter
Ab 30 m3/h wird eine Flüssig-Versorgung interessant. ...weiter
Teleflo-System: Fernüberwachung von Tanks ...weiter
Rund um die Bulkgas-Versorgung bietet die AIR LIQUIDE einen kompletten Service: ...weiter
