Spezialgas- Versorgung
Wir bieten Ihnen Komplettlösungen für die Versorgung von Halbleiterprozessen mit Spezialgasen (ESG = Electronic Specialty Gases) an.
Standardkabinette sind in zwei verschiedenen Typen erhältlich: RPV und MPV sowie OCP-Kabinette. Diese unterscheiden sich im Spülvolumen und in der Plazierung des Hochdruck-Spülblockes. ...weiter
Das All Vapor Phase-Kabinett ist speziell für eine hohe Gas-Entnahme bei in der Flasche verflüssigten Gasen optimiert. ...weiter
Diese Systeme sind für hohe Abnahmemengen (>100 l / Min.) konzipiert und komplett wie das Standard-Kabinett ausgestattet. ...weiter
Das CISA-System ist die optimale Lösung für eine Bündelversorgung mit Prozessgasen. ...weiter
Zur Überwachung der Gas- und Chemikalienversorgung bietet AIR LIQUIDE ein intern entwickeltes Prozessleitsystem an, das sogenannte Monitoring (auch Supervison System). ...weiter
In der "Valve Manifold Box" (VMB) oder "Ventilbox" wird die vom Gaskabinett kommende Prozessgasleitung aufgeteilt auf mehrere Stichleitungen (Sticks). ...weiter
Unser Elektronik-Team berät Sie gerne. Sprechen Sie uns an!
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