Ventilbox
In der "Valve Manifold Box" (VMB) oder "Ventilbox" wird die vom Gaskabinett kommende Prozessgasleitung aufgeteilt auf mehrere Stichleitungen (Sticks).
In der "Valve Manifold Box" (VMB) oder "Ventilbox" wird die vom Gaskabinett kommende Prozessgasleitung aufgeteilt auf mehrere Stichleitungen (Sticks). Von diesen Stichleitungen ausgehend werden die Fertigungsmaschinen des Kunden angeschlossen ("Hook-Up").
Vorteile und Ausstattung der Ventilbox:
Selbstschließende, dichtende Fenster
Hängende Befestigung
Abschließbare Tür
Sicherheitsglasscheibe
Abluftanschluß
Zuluftfilter
Sprinkleranschluß
Automatische Abschaltung
Standardpanel für alle Gasarten
Ersatzteile leicht austauschbar
Verbindungen VCR(r)-kompatibel oder orbitalverschweißt
