Precursor Versorgung
Das System für Flüssig-Chemikalien wie TEOS, TEB, TEPO und TiCl4.
Das "CANDI"-System ist für die CVD Versorgung mit flüssigen Chemikalien entwickelt worden.
Die Entwicklung in Richtung Low-K-Dielectrics, High-K-Dielectrics und Barrier Metals ist eine der neuen Herausforderungen in der IC-Herstellung. Air Liquide arbeitet in diesem Bereich sehr eng mit Kunden, OEM Partnern und Material herstellern zusammen, um ihnen innovative Advanced Precursor Solutions anbieten zu können. Das Resultat ist das CANDI-System (Continous Adva nced Precursor Dispenser).
Im Überblick:
Redundante Sicherheits-Features
SEM1 S2-zertifiziert, CEM-getestet, CE-gekennzeichnet
Schnelle, einfache Wartung (PLC programmiert)
Bedienerfreundliches Touchscreen
Ununterbrochene Versorgung durch integrierten Tagestank
Hohe Up-Time
"Bulk-CANDY-System" für bis zu 40 tools erhältlich
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