All Vapor Phase-Kabinette
Das All Vapor Phase-Kabinett ist speziell für eine hohe Gas-Entnahme bei in der Flasche verflüssigten Gasen optimiert.
Das All Vapor Phase-Kabinett ist speziell für eine hohe Gas-Entnahme bei in der Flasche verflüssigten Gasen, wie z. B. für WF6, 3MS, DS, BCl3, C4F6, HCL, HBr, C4F8 etc. optimiert. Neben einer hohen Gas-Entnahme (> 200 %) liegt das Augenmerk bei diesem Kabinett auf sehr hoher Uptime, Erhaltung der Gasreinheit und reduzierter Cost of Ownership.
Die Steuerung überprüft ständig die Prozess-Parameter, um eine stetige gasförmige Entnahme sicherzustellen (s. auch Standardkabinette). Ausserdem führt sie sehr präzise, automatisch gesteuerte Spülzyklen durch und übernimmt alle Sicherheitsfunktionen.
Vorteile des AVP Kabinetts:
erhöht die Zuverlässigkeit
schließt Tröpfchenbildung aus: Reduziert Korrosion und Komponentenausfälle
verhindert Versorgungsunterbrechungen und Druckschwankungen
führt im Betrieb zu Kostenreduzierung
erhöht Entnahmemenge/Min bei Gasen mit niedrigem Dampfdruck bis zu dem Faktor 5.
