Spezialgas- Versorgung

Wir bieten Ihnen Komplettlösungen für die Versorgung von Halbleiterprozessen mit Spezialgasen (ESG = Electronic Specialty Gases) an.

Unser Equipment für Ihre Spezialgas-Versorgung

Standard-Kabinette
Standardkabinette sind in zwei verschiedenen Typen erhältlich: RPV und MPV sowie OCP-Kabinette. Diese unterscheiden sich im Spülvolumen und in der Plazierung des Hochdruck-Spülblockes. ...weiter
All Vapor Phase-Kabinette
Das All Vapor Phase-Kabinett ist speziell für eine hohe Gas-Entnahme bei in der Flasche verflüssigten Gasen optimiert. ...weiter
Bulk-Kabinette
Diese Systeme sind für hohe Abnahmemengen (>100 l / Min.) konzipiert und komplett wie das Standard-Kabinett ausgestattet. ...weiter
Bündelstationen
Das CISA-System ist die optimale Lösung für eine Bündelversorgung mit Prozessgasen. ...weiter
Monitoring
Zur Überwachung der Gas- und Chemikalienversorgung bietet AIR LIQUIDE ein intern entwickeltes Prozessleitsystem an, das sogenannte Monitoring (auch Supervison System). ...weiter
Ventilbox
In der "Valve Manifold Box" (VMB) oder "Ventilbox" wird die vom Gaskabinett kommende Prozessgasleitung aufgeteilt auf mehrere Stichleitungen (Sticks). ...weiter

Unser Elektronik-Team berät Sie gerne. Sprechen Sie uns an!

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